日本松定高壓電源HECA系列

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日本松定高壓電源HECA系列

型號：HECA系列

品牌：日本松定電源[鵬控代理]

產(chǎn)品說(shuō)明

HECAシリーズ

靜電チャック専用高圧電源

極性反転や交流波形によるスムーズなウエハーの剝離が可能です。単極式(2ch)、雙極式いずれにも対応できオプションでRFフィルターを內蔵できます。

· 靜電チャック専用設計。

· 2ch出力內蔵（1kV to 5kVタイプ）。

· 両極性出力。

· RFフィルタ?jì)仁i可能（オプション）。

· 電子切換で高速応答も可能（10ms）。

· リレーがないので高信頼、長(cháng)壽命。

出　力			モデル名
電　圧[kV]	電　流[mA]	リップル[%ms]	モデル名
±1	6	0.1	HECA-1B6×2
±1	30	0.1	HECA-1B30×2
±3	2	0.1	HECA-3Ｂ2×2
±3	10	0.1	HECA-3Ｂ10×2
±5	1	0.1	HECA-5Ｂ1×2
±5	6	0.1	HECA-5Ｂ6×2
±10	0.5	0.1	HECA-10B0.5
±10	3	0.1	HECA-10B3

用戶(hù)評論


            我來(lái)說(shuō)兩句(?)

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