日本松定高壓電源HECA系列

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日本松定高壓電源HECA系列

型號：HECA系列

品牌：日本松定電源[鵬控代理]

產品說明

HECAシリーズ

靜電チャック専用高圧電源

極性反転や交流波形によるスムーズなウエハーの剝離が可能です。単極式(2ch)、雙極式いずれにも対応できオプションでRFフィルターを內蔵できます。

· 靜電チャック専用設計。

· 2ch出力內蔵（1kV to 5kVタイプ）。

· 両極性出力。

· RFフィルタ內蔵可能（オプション）。

· 電子切換で高速応答も可能（10ms）。

· リレーがないので高信頼、長壽命。

用戶評論


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