日本松定高壓電源HJC系列

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日本松定高壓電源HJC系列

型號：HJC系列

品牌：日本松定電源[鵬控代理]

產(chǎn)品說明

HJCシリーズ

靜電チャック用高圧電源

HJCシリーズは、靜電チャック専用として開発された高圧電源です。DC ON/OFFによるチャックのON/OFFの他、チャックOFFの際、極性を反転させてスムーズにウエハーを剝離させることも可能です。

· 靜電チャック専用設計。

· 出力は電子スイッチで高速応答(100ms)。

· 両極性出力。

· RFフィルタ內(nèi)蔵（オプション）。

· リレーを使わないので高信頼、長壽命。

出　力			モデル名
電　圧[kV]	電　流[mA]	リップル[%ms]	モデル名
±1	6	0.1	HJC-1B6
±1	30	0.1	HJC-1B30
±2	3	0.1	HJC-2B3
±2	15	0.1	HJC-2B15
±3	2	0.1	HJC-3B2
±3	10	0.1	HJC-3B10
±4	1.5	0.1	HJC-4B1.5
±4	7.5	0.1	HJC-4B7.5
±5	1.2	0.1	HJC-5B1.2
±5	6	0.1	HJC-5B6

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